我們的真空泵設計為在緊湊的機身中提供高真空壓力。 產品陣容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四種類型，活躍于半導體制造工廠、醫療設備應用和食品制造工藝等廣泛市場。
通過將隔膜安裝在封閉空間內，分兩段降低壓力，并聯結構，因此實現了可以獲得比 FV-10 更高的真空壓力的機構。

HEPA 過濾器安裝在進氣和排氣部分。 它也可以用于潔凈室。 此外，可以從主體的透明窗口看到過濾器，因此您可以知道何時更換它。

處理范圍從低于自身重量的物體到相當于硅晶片的 8 英寸。

管子有 Φ3×5、Φ4×6 兩種尺寸。

隨附的管子為 Φ3×5。